DD馬達是一種高精度、高速度、高轉(zhuǎn)矩的外轉(zhuǎn)子型直接驅(qū)動電機。它采取轉(zhuǎn)子和運動載體直接連接的方式,中間不再用其他的過渡連接(減速機構(gòu),聯(lián)軸器等),DD馬達因輸出力矩大也稱為力矩電機。

DD馬達的優(yōu)勢負載直接與馬達轉(zhuǎn)子相連接,中間無減速機構(gòu)、聯(lián)軸器、齒輪、絲桿等中間傳動結(jié)構(gòu),這些中間機構(gòu)所產(chǎn)生的誤差是無法避免的,尤其對長時間運動所造成的機械磨損更是無法彌補。DD馬達轉(zhuǎn)子直接與負載相連,因此消除了中間環(huán)節(jié)所產(chǎn)生的誤差,達到最理想的控制精度。DD馬達具有很強的剛性,直接與負載連接使得較強的剛性能夠更好地體現(xiàn)在負載上。


DD馬達適用于各種產(chǎn)業(yè)裝置機械,特別是半導體制造檢查裝置、液晶制造裝置,如:應用于高i性能膠片、充電電池應用于LED檢測系統(tǒng)手機面板貼膜機應用于太陽能電池設備應用于半導體IC測試機半導體劃片機應用于LCD研磨機LCD行業(yè)彩色濾光片鍍膜機等。

DD馬達在LED晶圓紫外激光高速劃片設備,激光晶圓切割設備是專門針對LED芯片生產(chǎn)企業(yè)所研發(fā)出的一款高i端精密設備,主要應用于以Sapphire基底的GaN晶圓的劃片切割。配備多組同軸光源,能很好地配合PSS工藝,側(cè)腐蝕工藝,以及背鍍金屬工藝和垂直結(jié)構(gòu)工藝晶園片的劃片和切割,DD馬達在此設備上功能為配合CCD進行糾偏以及90度工位調(diào)整,主要應用DD的高i精度0軸旋轉(zhuǎn)精度0.0001度,小體112mm*112mm66mm.