半導體晶圓減薄機直驅(qū)方案 德瑪特控制系統(tǒng)+氣浮轉(zhuǎn)臺 由于減薄機對轉(zhuǎn)臺精度、速度穩(wěn)定性、端徑跳都提出了極高要求，因此，德瑪特氣浮轉(zhuǎn)臺airUPRT成為上佳之選。airUPRT轉(zhuǎn)臺重復精度為±1μm，端跳低至70納米，徑跳達到100納米，且具有超低速度波動性。此外，德瑪特還提供全套的減薄機系統(tǒng)解決方案，包含驅(qū)動器和軟件系統(tǒng)。 08月03日
半導體精密制造檢測方案 德瑪特氣浮旋轉(zhuǎn)和直線平臺 德瑪特氣浮系列，具有高精度，高穩(wěn)定性特點。對于旋轉(zhuǎn)類檢測，如探針臺、對位轉(zhuǎn)臺，有氣浮旋轉(zhuǎn)平臺，對于直線類檢測，有氣浮直線平臺。氣浮直線平臺airDDLP系列，直線度±0.25~±4μm，重復精度低至±2μm。適合滿足晶圓檢測、高精度計量、X 射線衍射系統(tǒng)、光學檢測和制造以及 MEMS/納米技術(shù)器件制造的嚴格要求。 08月02日
德瑪特超?尺??浮糾偏平臺 德瑪特超大氣浮運動，臺面尺寸達到1.5m×1m，國內(nèi)直驅(qū)最大尺寸的糾偏平臺之一，運動直線精度高，速度波動小，可達2m/s，重復定位精度可達±0.5um。應用：編碼器精度誤差檢驗，大尺寸精密加工糾偏（如半導體晶圓、大尺寸顯示屏等制造設備）。 12月29日
德瑪特無槽DD馬達，高精度無齒槽效應 采用德瑪特無槽直驅(qū)電機技術(shù)設計，無齒槽效應，“無”轉(zhuǎn)矩脈動，可以實現(xiàn)極其平滑的速度控制。 可以實現(xiàn)高精度和高重復精度的位置控制；無框設計，高功率密度，占用空間更?。淮笸妆阌谕ㄟ^電纜、光學器件、感測技術(shù)及其他系統(tǒng)元件…… 11月19日
德瑪特直驅(qū)XY加工平臺 德瑪特直驅(qū)XY加工平臺，在動力傳動系統(tǒng)中未使用機械零件，其可直接將驅(qū)動力傳輸至運動平臺，且無摩擦，可實現(xiàn)高速度和高加速度的快速加工。 11月19日
德瑪特高精度直驅(qū)XY氣浮平臺 ?德瑪特雙導軌XY直線模組平臺，采用德瑪特高精度無鐵芯直線電機模組組成，具有良好的剛性性能以及良好的定位精度，此外還有高速度，高加速度，零背隙，使用壽命長，維護成本低等一系列優(yōu)點…… 11月19日
德瑪特高動態(tài)響應直驅(qū)轉(zhuǎn)臺HD140 德瑪特直驅(qū)轉(zhuǎn)臺HD140具有高精度、高動態(tài)響應的特點，適合高加工精度、高加工速度、小角度分度需求的場景，高度模塊化設計，維護簡單，穩(wěn)定性強。 11月10日
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