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半導(dǎo)體晶圓減薄機直驅(qū)方案德瑪特控制系統(tǒng)+氣浮轉(zhuǎn)臺

由于減薄機對轉(zhuǎn)臺精度、速度穩(wěn)定性、端徑跳都提出了極高要求，因此，德瑪特氣浮轉(zhuǎn)臺airUPRT成為上佳之選。airUPRT轉(zhuǎn)臺重復(fù)精度為±1μm，端跳低至70納米，徑跳達到100納米，且具有超低速度波動性。此外，德瑪特還提供全套的減薄機系統(tǒng)解決方案，包含驅(qū)動器和軟件系統(tǒng)。

08月03日

半導(dǎo)體精密制造檢測方案德瑪特氣浮旋轉(zhuǎn)和直線平臺

德瑪特氣浮系列，具有高精度，高穩(wěn)定性特點。對于旋轉(zhuǎn)類檢測，如探針臺、對位轉(zhuǎn)臺，有氣浮旋轉(zhuǎn)平臺，對于直線類檢測，有氣浮直線平臺。氣浮直線平臺airDDLP系列，直線度±0.25~±4μm，重復(fù)精度低至±2μm。適合滿足晶圓檢測、高精度計量、X 射線衍射系統(tǒng)、光學(xué)檢測和制造以及 MEMS/納米技術(shù)器件制造的嚴格要求。

08月02日

德瑪特超?尺??浮糾偏平臺

德瑪特超大氣浮運動，臺面尺寸達到1.5m×1m，國內(nèi)直驅(qū)最大尺寸的糾偏平臺之一，運動直線精度高，速度波動小，可達2m/s，重復(fù)定位精度可達±0.5um。應(yīng)用：編碼器精度誤差檢驗，大尺寸精密加工糾偏（如半導(dǎo)體晶圓、大尺寸顯示屏等制造設(shè)備）。

12月29日

[多圖] 半導(dǎo)體行業(yè)中適用的德瑪特直驅(qū)產(chǎn)品

09月01日直驅(qū)電機直線電機 DD馬達半導(dǎo)體

德瑪特短行程高速應(yīng)用新產(chǎn)品直線執(zhí)行器DO系列

06月01日

德瑪特推出新款音圈電機/薄型電機模組TH系列實現(xiàn)超短行程的線性高精度控制

03月18日音圈電機薄型電機

德瑪特?zé)o槽DD馬達，高精度無齒槽效應(yīng)

采用德瑪特?zé)o槽直驅(qū)電機技術(shù)設(shè)計，無齒槽效應(yīng)，“無”轉(zhuǎn)矩脈動，可以實現(xiàn)極其平滑的速度控制。可以實現(xiàn)高精度和高重復(fù)精度的位置控制；無框設(shè)計，高功率密度，占用空間更??；大通孔便于通過電纜、光學(xué)器件、感測技術(shù)及其他系統(tǒng)元件……

11月19日