德瑪特氣浮直線平臺(tái),主要用于精密檢測(cè),行程2米,最大速度可達(dá)2米/秒,在長(zhǎng)行程下依然能保持高精度,重復(fù)精度達(dá)到±0.6um,使之在高精度要求的行業(yè)具有廣泛的應(yīng)用前景。例如在半導(dǎo)體行業(yè)適用于晶圓檢測(cè);在醫(yī)療器械制造中,可以讓零部件尺寸達(dá)到非常高的精度,表面光潔度好;在航空航天領(lǐng)域,要求機(jī)床具有高速加工和高精度定位能力,以滿足輕量化和結(jié)構(gòu)優(yōu)化的需求。