德瑪特雙導(dǎo)軌XY直線模組平臺(tái),采用德瑪特高精度無(wú)鐵芯直線電機(jī)模組組成,氣浮軌道使之擁有更高的精度和更平滑的位移,此外它還具有良好的剛性性能以及良好的定位精度,此外還有高速度,高加速度,零背隙,使用壽命長(zhǎng),維護(hù)成本低等一系列優(yōu)點(diǎn)。

德瑪特直驅(qū)XY平臺(tái),高速度、高精度、高動(dòng)態(tài)響應(yīng),適合各種高精度平米平面?zhèn)鲃?dòng),如芯片制造業(yè),精密檢測(cè)等。
產(chǎn)品視頻


技術(shù)參數(shù)


規(guī)格參數(shù)

單位

數(shù)值

行程

mm

220×250(設(shè)計(jì)行程范圍:800

直線度

μm

±0.5

平面度

μm

3

垂直度

μm

±2

精度

μm

±0.5

重復(fù)精度

μm

±0.4

最大速度

m/s

2

水平負(fù)載

Kg

100