由于減薄機(jī)對(duì)轉(zhuǎn)臺(tái)精度、速度穩(wěn)定性、端徑跳都提出了極高要求，因此，德瑪特氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)airUPRT成為上佳之選。airUPRT轉(zhuǎn)臺(tái)重復(fù)精度為±1μm，端跳低至70納米，徑跳達(dá)到100納米，且具有超低速度波動(dòng)性。此外，德瑪特還提供全套的減薄機(jī)系統(tǒng)解決方案，包含驅(qū)動(dòng)器和軟件系統(tǒng)。

德瑪特?cái)?shù)控五軸搖籃轉(zhuǎn)臺(tái)的新應(yīng)用——高精度直驅(qū)二維轉(zhuǎn)臺(tái)，可發(fā)揮直驅(qū)搖籃全數(shù)控、高速度、大扭矩、長(zhǎng)壽命的優(yōu)點(diǎn)，實(shí)現(xiàn)目標(biāo)的高精度追蹤和掃描。

德瑪特氣浮系列，具有高精度，高穩(wěn)定性特點(diǎn)。對(duì)于旋轉(zhuǎn)類(lèi)檢測(cè)，如探針臺(tái)、對(duì)位轉(zhuǎn)臺(tái)，有氣浮旋轉(zhuǎn)平臺(tái)，對(duì)于直線(xiàn)類(lèi)檢測(cè)，有氣浮直線(xiàn)平臺(tái)。氣浮直線(xiàn)平臺(tái)airDDLP系列，直線(xiàn)度±0.25~±4μm，重復(fù)精度低至±2μm。適合滿(mǎn)足晶圓檢測(cè)、高精度計(jì)量、X 射線(xiàn)衍射系統(tǒng)、光學(xué)檢測(cè)和制造以及 MEMS/納米技術(shù)器件制造的嚴(yán)格要求。

直線(xiàn)模組是疊片機(jī)和切疊一體機(jī)追求高速高效率基本無(wú)法繞過(guò)的選擇，德瑪特直線(xiàn)模組，最高5m/s的速度，加速度最高可達(dá)到5G，精度最高可達(dá)到±1μm，長(zhǎng)度行程可按需求定制，單模組最長(zhǎng)可達(dá)5.7m，理論上可以拼接無(wú)限長(zhǎng)，輕松協(xié)助實(shí)現(xiàn)最高效率疊片機(jī)和切疊一體機(jī)。