德瑪特直驅(qū)涂布平臺，采用大理石基座，穩(wěn)定性高，直線度好，雙向重復(fù)定位精度低至0.8μm，滑臺跳動精度小于4μm。

大理石涂布平臺

單位

性能參數(shù)

有效行程

mm

600

編碼器類型

 -

增量式光柵

編碼器分辨率

μm

0.5

重復(fù)定位精度

μm

±1

實際負載

kg

5

空載運動質(zhì)量

kg

85

速度

m/s

0.1