在這個高科技日新月異的時代，半導(dǎo)體行業(yè)的高性能裝備對傳動系統(tǒng)的要求愈發(fā)嚴(yán)苛：既需要強勁的轉(zhuǎn)矩,又需要精準(zhǔn)的定位；既要高速運轉(zhuǎn),又要低噪音靜音；既要耐久穩(wěn)定,又要無需維護......

然而，常規(guī)馬達早已難以滿足種種新要求。此時，更為先進的直驅(qū)電機（直線電機與DD馬達）應(yīng)運而生——

采用德瑪特直驅(qū)技術(shù)，高速高精度；部分采用磁懸浮，穩(wěn)定靜音；采用封閉環(huán)控制,實時監(jiān)測最高可實現(xiàn)納米級反饋；無需傳動，維護成本低；采用全定制設(shè)計，完美匹配您的裝備。

德瑪特有多款直驅(qū)產(chǎn)品已經(jīng)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

德瑪特?zé)o鐵芯直線電機DU系列

?高速度、高動態(tài)響應(yīng)
?無齒槽效應(yīng)，速度波動小，穩(wěn)定性更高
?精度高
?安裝尺寸小，溫升低

德瑪特DU系列無鐵芯直線電機，通過高精度運動控制解決方案，在半導(dǎo)體晶圓劃片、離子注入等工藝流程有出色的表現(xiàn)。

德瑪特?槽DD?達S系列

適用于各類高精密轉(zhuǎn)臺。

德瑪特高精度端面電機NXA系列

德瑪特端面電機NXA160，響應(yīng)快，μm級高精度，可用于半導(dǎo)體和激光制造中精準(zhǔn)對位。

技術(shù)參數(shù)：

德瑪特高速響應(yīng)轉(zhuǎn)臺HD系列

德瑪特轉(zhuǎn)臺HD140，具有高轉(zhuǎn)動慣量，適?于?精度?速度分度應(yīng)?， 如芯?分揀機、精密檢測儀器等。

應(yīng)用場景：

德瑪特直線執(zhí)行器DO系列

德瑪特直線執(zhí)行器DO系列，小行程，高速度，高加速度，與德瑪特高響應(yīng)轉(zhuǎn)臺配合，加入取放模塊可以進行高速的分揀作業(yè)，或裝配工藝流程。

德瑪特超高精度氣浮轉(zhuǎn)臺

超精密納米級氣浮平臺在半導(dǎo)體制造中的應(yīng)用非常重要，如在半導(dǎo)體后段封測的核心設(shè)備固晶機、焊線機和磨片機上，都需要高速高精的運動控制核心技術(shù)平臺，在包括運動控制、伺服驅(qū)動、直線電機和視覺系統(tǒng)的整個底層核心技術(shù)平臺的基礎(chǔ)上，才能開發(fā)出固晶、焊線、先進封裝等全系列設(shè)備。

德瑪特雙導(dǎo)軌XY氣浮平臺

德瑪特雙導(dǎo)軌氣浮平臺，采?德瑪特?精度?鐵芯直線電機模組組成，大理石平臺為底座，安裝精度高，維護方便。

產(chǎn)品特點：

德瑪特大理石氣浮平臺

德瑪特大理石氣浮平臺，采?德瑪特?精度?鐵芯直線電機模組，大理石基座，精度高，響應(yīng)快，可用做半導(dǎo)體行業(yè)高精度檢測平臺。

技術(shù)參數(shù)：