德瑪特氣浮直線平臺,主要用于精密檢測,行程2米,最大速度可達(dá)2米/秒,在長行程下依然能保持高精度,重復(fù)精度達(dá)到±0.6um,使之在高精度要求的行業(yè)具有廣泛的應(yīng)用前景。
例如在半導(dǎo)體行業(yè)適用于晶圓檢測;在醫(yī)療器械制造中,可以讓零部件尺寸達(dá)到非常高的精度,表面光潔度好;在航空航天領(lǐng)域,要求機(jī)床具有高速加工和高精度定位能力,以滿足輕量化和結(jié)構(gòu)優(yōu)化的需求。
氣浮直線平臺的主要優(yōu)點:
以空氣作為潤滑介質(zhì),運(yùn)動部件沒有機(jī)械接觸、無機(jī)械摩擦;
使用花崗巖大理石作為底座,極高的剛性和出色的幾何特性,能保持好的穩(wěn)定性,直線度和重復(fù)精度;
使用靜音型氣浮導(dǎo)軌,獨(dú)有的小孔節(jié)流技術(shù),解決在高壓問題上的氣錘效應(yīng)及微觀波動;
在氣膜的均化效應(yīng)下,可以達(dá)到非常出色的直線度;膜厚度幾乎不受速度的影響,即使在很低的速度下也不發(fā)生蠕變,運(yùn)動穩(wěn)定。