德瑪特超大氣浮運動，臺面尺寸達到1.5m×1m，國內(nèi)直驅(qū)最大尺寸的糾偏平臺之一，運動直線精度高，速度波動小，可達2m/s，重復(fù)定位精度可達±0.5um。
應(yīng)用：編碼器精度誤差檢驗，大尺寸精密加工糾偏（如半導(dǎo)體晶圓、大尺寸顯示屏等制造設(shè)備）。
技術(shù)參數(shù)：
德瑪特超大氣浮運動，臺面尺寸達到1.5m×1m，國內(nèi)直驅(qū)最大尺寸的糾偏平臺之一，運動直線精度高，速度波動小，可達2m/s，重復(fù)定位精度可達±0.5um。
應(yīng)用：編碼器精度誤差檢驗，大尺寸精密加工糾偏（如半導(dǎo)體晶圓、大尺寸顯示屏等制造設(shè)備）。
技術(shù)參數(shù)：
