德瑪特氣浮直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)，采用無(wú)齒槽效應(yīng)電機(jī)芯，無(wú)軸承摩擦磨損，具備超高的速度穩(wěn)定性，納米級(jí)端徑跳。適合半導(dǎo)體行業(yè)劃片、減薄、涂膠、光刻、光學(xué)檢測(cè)等超高精度加工場(chǎng)景。


70納米端跳，100納米徑跳

重復(fù)定位精度±1μm

定位精度±2μm



技術(shù)參數(shù)：

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