端跳70納米 氣浮轉(zhuǎn)臺airUPRT系列 德瑪特氣浮直驅(qū)轉(zhuǎn)臺，采用無齒槽效應(yīng)電機芯，無軸承摩擦磨損，具備超高的速度穩(wěn)定性，納米級端徑跳。適合半導體行業(yè)劃片、減薄、涂膠、光刻、光學檢測等超高精度加工場景。 氣浮系列 2024年07月20日
